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Thermo Scientific Nicolet 硅分析系統性能極佳,擁有成本低,可靠性高。
Nicolet 分析系統可以快速測量間隙碳和間隙氧以及外延薄膜厚度,適用于半導體晶片生產和太陽硅應用。 經光伏硅轉換太陽能的需求持續顯著增長,Nicolet 硅分析系統可提供快速、可靠的多功能分析。
Nicolet 硅分析系統的處理選項包括:1)自動分析 300 mm(最大)的晶片;2)低成本手動測量單個點。 本系統可提供行業趨勢變化所需的靈活性,可用于方形晶片和金屬片的分析。
具有硅分析選項,可以滿足各種預算需求。 所有解決方案均包括軟件工具,其中包括:
碳、氧和外延薄膜(300nm 至 7500nm)分析
定量算法廣泛,擴展了功能,其中包括:線性回歸法、經典最小二乘法 (CLS) 和偏最小二乘法 (PLS)
支持 ASTM 和 JEIDA 標準,可以測量替代碳和間隙氧
此高級自動分析系統以 Nicolet x700 光譜儀為基礎,可滿足要求苛刻的操作環境。 此應用軟件具有完全自動化的掃描成像平臺,所含軟件可以實現:
靈活的測量選擇:從單點繪制到整個晶片繪制
處理 300mm (最大)的晶片
透射與反射能力測量:可以接受的材料和薄膜非常廣泛
簡便的用戶操作
此手動分析系統基于 Nicolet x700 或 Nicolet iS10 FT-IR 光譜儀,適用于要求不太苛刻的 QA/QC 應用。 此系統在樣品室中使用手動旋轉平臺,包括:
單點分析手動定位樣品
在樣品室中處理晶片
具有透射測量能力,可以接受眾多材料和薄膜
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測量硅中碳和氧的含量,以便對光伏器件進行過程控制
介電薄膜中摻雜物的濃度級別(BPSG、PSG、FSG 等)
氮化硅薄膜中的氫含量
外延薄膜厚度
MEMS 器件厚度
硅片中的代位碳和間隙氧含量